Micropump manufactured by thermoplastic molding

Büstgens, Burkard; Bacher, Walter; Menz, Wolfgang; Schomburg, Werner Karl

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 53494
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, Oiso, Japan 1994. Piscataway, NJ 1994. S. 18-21.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 94S221