Fluidische Mikrostrukturen in LIGA-Technik am Beispiel fluidischer Elemente

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, Wolfgang; Walter, F.

Seitenaufrufe: 22
seit 26.04.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 53693
Erscheinungsvermerk	In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 109-113. (KfK. 5238.)