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Fluidische Mikrostrukturen in LIGA-Technik am Beispiel fluidischer Elemente

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, Wolfgang; Walter, F.

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 53693
Erscheinungsvermerk In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 109-113. (KfK. 5238.)

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