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Fluidische Mikrostrukturen in LIGA-Technik am Beispiel fluidischer Elemente

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, Wolfgang; Walter, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 53693
Erscheinungsvermerk In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 109-113. (KfK. 5238.)
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