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Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation

Chiang, Chung-I

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DOI: 10.5445/IR/54995
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA549957
KITopen-ID: 54995
Reportnummer: FZKA-5644
HGF-Programm 34.01.02 (Vor POF, LK 01)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5644
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 6.7.1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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