Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Jahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen ID: 5522000 Reportnummer: FZKA-6576 |
| HGF-Programm | 41.01.01; LK 01 |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6576.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.7.2000 von Sven Achenbach. |
| Abschlussart | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 14.7.2000 |
| URLs | Abstract (HTML) |