Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA55220005 KITopen-ID: 5522000 Reportnummer: FZKA-6576 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | VI; 138 S. |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6576.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.7.2000 von Sven Achenbach. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 14.7.2000 |
| Prüfungsdatum | 14.07.2000 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Referent/Betreuer | Saile, V. Menz, W. |