Structuring of various materials using cluster ions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 58095 |
| HGF-Programm | 41.01.08 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 13 |
| Seiten | 2133-37 |
| Erscheinungsvermerk | J. of vac. sci. and technol. A 13 (1995) S. 2133-2137. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S214 |