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Structuring of various materials using cluster ions

Henkes, P.R.W.; Krevet, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 58095
HGF-Programm 41.01.08 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 13
Seiten 2133-37
Erscheinungsvermerk J. of vac. sci. and technol. A 13 (1995) S. 2133-2137.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S214
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