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Three-dimensional microsensor technology

Ache, Hans Joachim; Menz, Wolfgang; Buestgens, Burkard; Mohr, Jürgen; Mueller, Claas; Schomburg, Werner Karl; Strohrmann, Manfred; [u.a.]


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Instrumentelle Analytische Chemie (Inst. f. Instrument. Analyt. Chemie)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-527-26774-3
KITopen-ID: 58295
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors. Ed.: W. Göpel. Vol. 8: Micro- and nanosensor technology; trends in sensor markets. Ed.: H. Meixner
Verlag Wiley-VCH Verlag
Seiten 81-133
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S216
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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