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Three-dimensional microsensor technology

Ache, Hans Joachim; Menz, Wolfgang; Buestgens, Burkard; Mohr, Jürgen; Mueller, Claas; Schomburg, Werner Karl; Strohrmann, Manfred; [u.a.]



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Instrumentelle Analytische Chemie (Inst. f. Instrument. Analyt. Chemie)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-527-26774-3
KITopen ID: 58295
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erschienen in Sensors. Ed.: W. Göpel. Vol. 8: Micro- and nanosensor technology; trends in sensor markets. Ed.: H. Meixner
Verlag VCH, Weinheim
Seiten 81-133
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S216
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