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Three-dimensional microsensor technology

Ache, Hans Joachim; Menz, Wolfgang; Buestgens, Burkard; Mohr, Jürgen; Mueller, Claas; Schomburg, Werner Karl; Strohrmann, Manfred; [u. a.]


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Instrumentelle Analytische Chemie (Inst. f. Instrument. Analyt. Chemie)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-527-26774-3
KITopen-ID: 58295
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors. Ed.: W. Göpel. Vol. 8: Micro- and nanosensor technology; trends in sensor markets. Ed.: H. Meixner
Verlag Wiley-VCH Verlag
Seiten 81-133
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S216
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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