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Three-dimensional microsensor technology

Ache, Hans Joachim; Menz, Wolfgang; Buestgens, Burkard; Mohr, Jürgen; Mueller, Claas; Schomburg, Werner Karl; Strohrmann, Manfred; [u.a.]



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Instrumentelle Analytische Chemie (Inst. f. Instrument. Analyt. Chemie)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 58295
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Seiten 81-133
Erscheinungsvermerk In: Sensors. Ed.: W. Göpel. Vol. 8: Micro- and nanosensor technology/trends in sensor markets. Ed.: H. Meixner. Weinheim 1995. S. 79-133.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S216
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