Three-dimensional microsensor technology

Ache, Hans Joachim; Menz, Wolfgang; Buestgens, Burkard; Mohr, Jürgen; Mueller, Claas; Schomburg, Werner Karl; Strohrmann, Manfred; [u. a.]

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Instrumentelle Analytische Chemie (Inst. f. Instrument. Analyt. Chemie) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 978-3-527-26774-3 KITopen-ID: 58295
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Sensors. Ed.: W. Göpel. Vol. 8: Micro- and nanosensor technology; trends in sensor markets. Ed.: H. Meixner
Verlag	Wiley-VCH Verlag
Seiten	81-133
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S216