Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 58395 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Automatisierungstechnische Praxis |
Band | 37 |
Seiten | 12-22 |
Erscheinungsvermerk | Automatisierungstech. Prax. 37 (1995) H. 11 S. 12-22. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S217 |