| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 58395 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Automatisierungstechnische Praxis |
| Band | 37 |
| Seiten | 12-22 |
| Erscheinungsvermerk | Automatisierungstech. Prax. 37 (1995) H. 11 S. 12-22. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S217 |