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Die industrielle Anwendung der Mikrosystemtechnik

Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 58395
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Automatisierungstechnische Praxis
Band 37
Seiten 12-22
Erscheinungsvermerk Automatisierungstech. Prax. 37 (1995) H. 11 S. 12-22.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S217
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