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Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen

Dolata, Ralf



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 58794
Erscheinungsvermerk Düsseldorf 1994. (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8, Nr. 439.) Fak. f. Elektrotechnik, Diss. v. 7.7.1994.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik (Fak. für Elektrotech.)
Institut Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.7.1994
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