Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 58794 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Düsseldorf 1994. (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8, Nr. 439.) Fak. f. Elektrotechnik, Diss. v. 7.7.1994. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik (Fak. für Elektrotech.) |
| Institut | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 7.7.1994 |