Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Jahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen ID: 58794 |
| Erscheinungsvermerk | Düsseldorf 1994. (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8, Nr. 439.) Fak. f. Elektrotechnik, Diss. v. 7.7.1994. |
| Abschlussart | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik (Fak. für Elektrotech.) |
| Institut | Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 7.7.1994 |