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Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen

Dolata, Ralf



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 58794
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Düsseldorf 1994. (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8, Nr. 439.) Fak. f. Elektrotechnik, Diss. v. 7.7.1994.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik (Fak. für Elektrotech.)
Institut Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.7.1994
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