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Monolithisch integriertes Silizium- Mikrodosiersystem mit thermomechanischem Mikroventil und kalorimetrischem Massenflußsensor

Franz, Jochen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 599
Erscheinungsvermerk Aachen 1999. (Berichte aus dem Maschinenbau.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 9.2.1998.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 9.2.1998
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