Monolithisch integriertes Silizium- Mikrodosiersystem mit thermomechanischem Mikroventil und kalorimetrischem Massenflußsensor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 599 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Aachen 1999. (Berichte aus dem Maschinenbau.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 9.2.1998. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 9.2.1998 |