| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 6092001 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 14th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Oxnard, Calif. 2001. |