Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 6092001 |
Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 14th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Oxnard, Calif. 2001. |