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Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn

Kunisch, Clemens



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator DOI(KIT): 10.5445/IR/64395
URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA643955
KITopen ID: 64395
Reportnummer: FZKA-5625
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5625
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 21.6.1995
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