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Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn

Kunisch, Clemens


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/64395
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA643955
KITopen-ID: 64395
Reportnummer: FZKA-5625
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5625
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 21.6.1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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