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Identification and characterization of monomeric and volatile SiCl3NH2 as product of the reaction between SiCl4 and NH3: an important intermediate on the way to silicon nitride?

Himmel, Hans-Jörg; Schiefenhoevel, N.; Binnewies, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anorganische Chemie (AOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1521-3765
KITopen ID: 6472003
Erschienen in Chemistry, a European journal
Band 9
Heft 6
Seiten 1387-1393
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