Entwicklung, Herstellung und Erprobung mikromechanischer Druck- und Durchflußsensoren für pneumatische Anwendungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 68698 Reportnummer: FZKA-6222 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6222.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.12.1998. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 8.12.1998 |