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Entwicklung, Herstellung und Erprobung mikromechanischer Druck- und Durchflußsensoren für pneumatische Anwendungen

Martin, Jörg



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 68698
Reportnummer: FZKA-6222
HGF-Programm 41.06.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6222.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.12.1998.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 8.12.1998
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