Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 69999 |
Erscheinungsvermerk | In: Tagungsband der 4. Chemnitzer Fachtagung "Mikromechanik & Mikroelektronik", Chemnitz 1999. S. 138-143. |