| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 69999 |
| Erscheinungsvermerk | In: Tagungsband der 4. Chemnitzer Fachtagung "Mikromechanik & Mikroelektronik", Chemnitz 1999. S. 138-143. |