KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren

Mueller, Andre



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator DOI(KIT): 10.5445/IR/7396
URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA73961
KITopen ID: 7396
Reportnummer: FZKA-5786
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5786
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 5.2.1996.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 5.2.1996
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page