Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA73961 KITopen-ID: 7396 Reportnummer: FZKA-5786 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5786 |
| Erscheinungsvermerk | Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 5.2.1996. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 5.2.1996 |