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MicroShape - reverse engineering in microsystem technology

Schillen, Volker; Storz, Gunther



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechneranwendung in Planung und Konstruktion (PRK)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 7412000
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. VDE World Micro-Technologies Congress, MICRO.tec 2000, Hannover 2000. S. 563-569.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 2001S9
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