MicroShape - reverse engineering in microsystem technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Rechneranwendung in Planung und Konstruktion (PRK) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 7412000 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. VDE World Micro-Technologies Congress, MICRO.tec 2000, Hannover 2000. S. 563-569. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 2001S9 |