Ion beam synthesis of strain-relieved Sisub(1-x)Gesub(x) layers on SIMOX

Hollaender, Bernd; Mantl, Siegfried; Michelsen, W.; Mesters, St.; Vescan, L.; Gerthsen, Dagmar

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 75296
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings of the 9th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, Canberra (Australia) 1995. Ed.: J. S. Williams. Amsterdam 1996. S. 947-957.