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Thermal simulation of micromachined bridges for integrated pyroelectric sensor arrays

Ploss, Bernd; Sieber, Frank



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 78095
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 29 (1995) S. 75-78.
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