Thermal simulation of micromachined bridges for integrated pyroelectric sensor arrays
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 78095 |
| Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 29 (1995) S. 75-78. |