Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 78195 |
Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 29 (1995) S. 101-104. |