| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 78392 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micromechanical sensors, actuators, and systems. Ed.: D. Cho. New York, N.Y. 1991. S. 303-313. (DSC-Vol. 32.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S90 |