Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 78392 |
Erscheinungsvermerk | In: Micromechanical sensors, actuators, and systems. Ed.: D. Cho. New York, N.Y. 1991. S. 303-313. (DSC-Vol. 32.) |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S90 |