Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 7891 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1991. (KfK-Bericht. 4859.) und Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.2.1991 von Christoph Burbaum. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 14.2.1991 |