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Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik

Burbaum, Christoph; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 7891
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1991. (KfK-Bericht. 4859.) und Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.2.1991 von Christoph Burbaum.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 14.2.1991
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