Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1989 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 79489 |
HGF-Programm | 16.04.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
Band | 60 |
Seiten | 567-69 |
Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 60 (1989) S. 567-569. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S221 |