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Micromachining with cluster ions

Henkes, P. R. Wolfgang; Klingelhoefer, Rolf



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 79589
HGF-Programm 16.01.03; LK 01
Erschienen in Vacuum
Band 39
Seiten 541-42
Erscheinungsvermerk Vacuum 39 (1989) S. 541-542.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 89S220
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