Micromachining with cluster ions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 79589 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Vacuum |
| Band | 39 |
| Seiten | 541-42 |
| Erscheinungsvermerk | Vacuum 39 (1989) S. 541-542. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S220 |