Definition of geometries with complicated, curved boundaries for electron beam pattern generation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 79689 |
| HGF-Programm | 16.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 9 |
| Seiten | 495-97 |
| Erscheinungsvermerk | Microelectronic engng. 9 (1989) S. 495-497. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S219 |