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Definition of geometries with complicated, curved boundaries for electron beam pattern generation

Klein, U.; Goetz, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 79689
HGF-Programm 16.01.01; LK 01
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 9
Seiten 495-97
Erscheinungsvermerk Microelectronic engng. 9 (1989) S. 495-497.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 89S219
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