Prospective nonlithographic applications of a synchrotron radiation source for deep-etch lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 79789 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 60 |
| Seiten | 2164-66 |
| Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 60 (1989) S. 2164- 2166. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S218 |