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Prospective nonlithographic applications of a synchrotron radiation source for deep-etch lithography

Moser, Herbert O.; Ehrfeld, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 79789
HGF-Programm 16.01.03; LK 01
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 60
Seiten 2164-66
Erscheinungsvermerk Rev. of sci. instrum. 60 (1989) S. 2164- 2166.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 89S218
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