| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 79989 |
| HGF-Programm | 16.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
| Seiten | 775-78 |
| Erscheinungsvermerk | Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 37/38 (1989) S. 775-778. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S216 |