Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1989 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 79989 |
HGF-Programm | 16.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
Seiten | 775-78 |
Erscheinungsvermerk | Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 37/38 (1989) S. 775-778. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 89S216 |