Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 81698 |
Erscheinungsvermerk | In: Micro-system technologies 98. Ed.: H. Reichl. Berlin 1998. |