| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 81698 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro-system technologies 98. Ed.: H. Reichl. Berlin 1998. |