| Zugehörige Institution(en) am KIT | Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0361-5235 KITopen-ID: 8872001 |
| Erschienen in | Journal of electronic materials |
| Verlag | Springer |
| Band | 30 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 463 |