Influence of the deposition parameters on the texture of CVD-grown pyrocarbon layers

De Pauw, Virginie; Reznik, Boris; Kalhoefer, S.; Gerthsen, Dagmar; Huettinger, Klaus J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 8962001
Erscheinungsvermerk	In: American Carbon Society 25th Biennial Conference, Lexington, KY 2001. Paper 20.4. [CD-ROM].