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Influence of the deposition parameters on the texture of CVD-grown pyrocarbon layers

De Pauw, Virginie; Reznik, Boris; Kalhoefer, S.; Gerthsen, Dagmar; Huettinger, Klaus J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 8962001
Erscheinungsvermerk In: American Carbon Society 25th Biennial Conference, Lexington, KY 2001. Paper 20.4. [CD-ROM].
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