Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 92089 Reportnummer: KFK-4702 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | 95 S. |
| Serie | KfK-Bericht ; 4702 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 18.12.1989 |
| Prüfungsdatum | 18.12.1989 |
| Referent/Betreuer | Ehrfeld, W. Mohr, J. |