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Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter

Anderer, Boris; Ehrfeld, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 92089
Reportnummer: KFK-4702
HGF-Programm 16.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.12.1989. und (KfK-Bericht. 4702.)
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 18.12.1989
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