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Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter

Anderer, Boris; Ehrfeld, W.; Mohr, J.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/92089
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 92089
Reportnummer: KFK-4702
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.12.1989. und (KfK-Bericht. 4702.)
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 18.12.1989
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