Acoustic emission and precision force- displacement observations of pointed and spherical indentation of silicon and TiN film on silicon
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit und Schadenskunde im Maschinenbau (IZBS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 99896 |
| Erscheinungsvermerk | J. of mater. sci. 32 (1996) S. 5985-5991. |