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Acoustic emission and precision force- displacement observations of pointed and spherical indentation of silicon and TiN film on silicon

Shiwa, M.; Weppelmann, Edgar; Munz, Dietrich; Swain, Mike; Kishi, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Zuverlässigkeit und Schadenskunde im Maschinenbau (IZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 99896
Erscheinungsvermerk J. of mater. sci. 32 (1996) S. 5985-5991.
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