PT Unknown
AU Wieland, P
   Düpmeier, C
   Eggert, H
   Scherer, KP
TI Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen
SE Wissenschaftliche Berichte. FZKA
PY 1995
DI 10.5445/IR/270037864
LA german
ER