PT Unknown AU Wieland, P Düpmeier, C Eggert, H Scherer, KP TI Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen SE Wissenschaftliche Berichte. FZKA PY 1995 DI 10.5445/IR/270037864 LA german ER