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URN: urn:nbn:de:0005-072151

Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Akspektverhältnis

Mappes, Timo; Achenbach, Sven; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620
KITopen ID: 1000004255
Reportnummer: FZKA-7215
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7215
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 16.02.2006
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Bemerkung zur Veröffentlichung Dissertation von Timo Mappes
URLs Abstract (HTML)
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