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Goldgalvanik in der Mikrosystemtechnik. Herausforderungen durch neue Anwendungen

Dambrowsky, Nina [Diss.]; Schulz, Joachim

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DOI: 10.5445/IR/1000006652
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620
urn:nbn:de:0005-073081
KITopen-ID: 1000006652
Reportnummer: FZKA-7308
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Applikations-u.Transferlaboratorien
Serie Wissenschafltiche Berichte. FZKA ; 7308
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 02.05.2006
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Externe Relationen Abstract/Volltext
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