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Mikrofluidische Dünnfilm-Drucksensoren mit Kunststoffgehäuse und Kreisplatten aus Glas oder Nickel

Evers, Johannes

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000007324
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-73240
KITopen-ID: 1000007324
Verlag Universität Karlsruhe, Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 27.10.2006
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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