Mikrofluidische Dünnfilm-Drucksensoren mit Kunststoffgehäuse und Kreisplatten aus Glas oder Nickel
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-73240 KITopen-ID: 1000007324 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 27.10.2006 |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |