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DOI: 10.5445/IR/1000007324

Mikrofluidische Dünnfilm-Drucksensoren mit Kunststoffgehäuse und Kreisplatten aus Glas oder Nickel

Evers, Johannes



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-73240
KITopen-ID: 1000007324
Verlag Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 27.10.2006
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
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