Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-77899 KITopen-ID: 1000007789 |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | 02.11.2007 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Auch erschienen als: Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7378 |
Referent/Betreuer | Saile, V. |