Anwendung und Optimierung verschiedener Verfahren zur Herstellung von 3D-Resonatoren aus III-V- und II-VI-Halbleitern

Es wurden zwei verschiedene Typen von Resonatoren hergestellt. Pillars und pyramidenförmige Strukturen. Werden nun zwei solcher Resonatoren über einen schmalen Kanal miteinander gekoppelt,so weist das Spektrum der optischen Moden deutliche Analogien zu dem elektronischer Zustände in zweiatomigen Molekülen. Der Schwerpunkt dieser Dissertation liegt deshalb auf dem Finden und Entwickeln von Methoden, um Resonatoren mit 3D-Einschluss zu erhalten.