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Finite element analysis of V‐shaped cantilevers for atomic force microscopy under normal and lateral force loads

Müller, Matthias 1; Schimmel, Thomas 1; Häußler, Pascal 2; Fettig, Heiko 2; Müller, Ottmar 2; Albers, Albert 2
1 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Produktentwicklung (IPEK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000010606
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/sia.2321
Scopus
Zitationen: 15
Web of Science
Zitationen: 15
Dimensions
Zitationen: 19
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Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0142-2421, 1096-9918
urn:nbn:de:swb:90-106060
KITopen-ID: 1000010606
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung
Erschienen in Surface and interface analysis
Verlag John Wiley and Sons
Band 38
Heft 6
Seiten 1090-1095
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
Dimensions
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