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Finite element analysis of V‐shaped cantilevers for atomic force microscopy under normal and lateral force loads

Müller, Matthias; Schimmel, Thomas; Häußler, Pascal; Fettig, Heiko; Müller, Ottmar; Albers, Albert

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000010606
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/sia.2321
Scopus
Zitationen: 14
Web of Science
Zitationen: 14
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0142-2421, 1096-9918
urn:nbn:de:swb:90-106060
KITopen-ID: 1000010606
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Erschienen in Surface and interface analysis
Band 38
Heft 6
Seiten 1090-1095
Nachgewiesen in Web of Science
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