Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0947-8620 urn:nbn:de:0005-074923 KITopen-ID: 1000014982 Reportnummer: FZKA-7492 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7492 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | 10.06.2009 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Diss. von: Haj-Taieb, M. FZKA-Berichte verfasst von: Haj-Taieb, M.; Aktaa, J.; Bade, K. |
| Referent/Betreuer | Kraft, O. |