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Structural, microchemical and superconducting properties of ultrathin NbN films on silicon

Gerthsen, D. 1; Schneider, R. 1; Freitag, B.; Ilin, K. S. 2; Siegel, M. 2
1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/crat.200900462
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Zitationen: 18
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Zitationen: 16
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0023-4753, 0232-1300, 1521-4079
KITopen-ID: 1000015329
Erschienen in Crystal research and technology
Verlag Wiley-VCH Verlag
Band 44
Heft 10
Seiten 1115 - 1121
Nachgewiesen in Web of Science
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