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DOI: 10.5445/KSP/1000016593
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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Grund, Thomas

Abstract:
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-496-6
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-165932
KITopen ID: 1000016593
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang IX, 125 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 2
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 01.02.2010
Referent/Betreuer PD Dr. M. Kohl
URLs Volltext
Schlagworte Mikrosystemtechnik, Ventil, Serienfertigung, Aktorik, Formgedächtnislegierung
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