KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Grund, Thomas

Abstract:
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.

Open Access Logo


Volltext §
DOI: 10.5445/KSP/1000016593
Die gedruckte Version dieser Publikation können Sie hier kaufen.
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-496-6
ISSN: 1869-5183
urn:nbn:de:0072-165932
KITopen-ID: 1000016593
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang IX, 125 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 2
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 01.02.2010
Referent/Betreuer PD Dr. M. Kohl
Externe Relationen Abstract/Volltext
Schlagworte Mikrosystemtechnik, Ventil, Serienfertigung, Aktorik, Formgedächtnislegierung
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page