Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-170562 KITopen-ID: 1000017056 |
Verlag | Freiburg i.Br. |
Umfang | XII, 107 S. |
Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |