| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-170562 KITopen-ID: 1000017056 |
| Verlag | Freiburg i.Br. |
| Umfang | XII, 107 S. |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |