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Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

Schüle, Sven

Abstract:
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.

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DOI: 10.5445/KSP/1000018509
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Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-529-1
ISSN: 1869-5183
urn:nbn:de:0072-185091
KITopen-ID: 1000018509
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang 176 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 3
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 09.02.2010
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Mikrosystemtechnik, Interferometer, Mikroaktorik, modulare Mikrosysteme, LIGA-Mikrosysteme
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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