Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
Abstract:
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-86644-529-1 ISSN: 1869-5183 urn:nbn:de:0072-185091 KITopen-ID: 1000018509 |
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Umfang | 176 S. |
| Serie | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 3 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 09.02.2010 |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik, Interferometer, Mikroaktorik, modulare Mikrosysteme, LIGA-Mikrosysteme |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |