Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 3-937300-95-3 ISSN: 1614-5267 urn:nbn:de:swb:90-209969 KITopen-ID: 1000020996 |
Erschienen in | MyFEMOS - Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren. Hrsg.: M. Bär |
Verlag | Universitätsverlag Karlsruhe |
Seiten | 33-40 |
Serie | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10 |
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