KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Bär, Manfred [Hrsg.]

Abstract:
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.

Open Access Logo


Volltext §
DOI: 10.5445/KSP/1000003769
Die gedruckte Version dieser Publikation können Sie hier kaufen.
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik (AIA)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-937300-95-3
ISSN: 1614-5267
urn:nbn:de:0072-37693
KITopen-ID: 1000003769
Verlag Universitätsverlag Karlsruhe, Karlsruhe
Umfang XVIII, 91 S.
Serie Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10
Schlagworte Optischer Sensor
Relationen in KITopen
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page