MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Abstract:
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik (AIA) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-937300-95-3 ISSN: 1614-5267 urn:nbn:de:0072-37693 KITopen-ID: 1000003769 |
| Verlag | Universitätsverlag Karlsruhe |
| Umfang | XVIII, 91 S. |
| Serie | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10 |
| Schlagwörter | Optischer Sensor |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Relationen in KITopen |
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| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |
