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Fertigungsgerechtes Design für einen mikrooptischen Abstandssensor

Hollenbach, Uwe; Heckele, Mathias; Hofmann, Andreas; Mohr, Jürgen

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Volltext §
DOI: 10.5445/KSP/1000003769
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-937300-95-3
ISSN: 1614-5267
urn:nbn:de:swb:90-209952
KITopen-ID: 1000020995
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in MyFEMOS - Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren. Hrsg.: M. Bär
Verlag Universitätsverlag Karlsruhe
Seiten 9-26
Serie Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10
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