Fertigungsgerechtes Design für einen mikrooptischen Abstandssensor
Hollenbach, Uwe; Heckele, Mathias; Hofmann, Andreas
; Mohr, Jürgen
; Mohr, Jürgen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-937300-95-3 ISSN: 1614-5267 urn:nbn:de:swb:90-209952 KITopen-ID: 1000020995 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | MyFEMOS - Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren. Hrsg.: M. Bär |
| Verlag | Universitätsverlag Karlsruhe |
| Seiten | 9-26 |
| Serie | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10 |
| Relationen in KITopen |