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Fertigungsgerechtes Design für einen mikrooptischen Abstandssensor

Hollenbach, Uwe; Heckele, Mathias; Hofmann, Andreas; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-937300-95-3
ISSN: 1614-5267
URN: urn:nbn:de:swb:90-209952
KITopen ID: 1000020995
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in MyFEMOS - Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren. Hrsg.: M. Bär
Verlag Universitätsverl., Karlsruhe
Seiten 9-26
Serie Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik ; 10
URLs Gesamtwerk
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