Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
Abstract:
In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-86644-829-2 ISSN: 1869-5183 urn:nbn:de:0072-270088 KITopen-ID: 1000027008 |
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Umfang | VI, 132 S. |
| Serie | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 11 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 28.06.2011 |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik; Ablenksystem; Positionsermittlung; Ni-Mn-Ga; Ferromagnetische Formgedächtnislegierung |
| Relationen in KITopen | |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |