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DOI: 10.5445/KSP/1000027008
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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

Auernhammer, Daniel

Abstract:
In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2012
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-829-2
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-270088
KITopen ID: 1000027008
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang VI, 132 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 11
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 28.06.2011
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Mikrosystemtechnik; Ablenksystem; Positionsermittlung; Ni-Mn-Ga; Ferromagnetische Formgedächtnislegierung
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