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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

Auernhammer, Daniel

Abstract:
Durch die Verwendung von ferromagnetischen Formgedächtnislegierungen in Form von metallischen Dünnfilmen eröffnen sich in der Mikrostrukturtechnik neue Möglichkeiten. Neben dem rein aktorischen Einsatz ermöglicht dieses Material auch eine sensorische Verwendung. Dazu wird im Rahmen dieser Arbeit dessen Eignung zur Positionsermittlung eines Biegeaktors zur Strahlablenkung untersucht.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000027874
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-278743
KITopen-ID: 1000027874
Verlag KIT, Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 28.06.2011
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagwörter Mikrostrukturtechnik, Ferromagnetische Formgedächtnislegierung, Aktor, Sensor
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