Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
Abstract:
Durch die Verwendung von ferromagnetischen Formgedächtnislegierungen in Form von metallischen Dünnfilmen eröffnen sich in der Mikrostrukturtechnik neue Möglichkeiten. Neben dem rein aktorischen Einsatz ermöglicht dieses Material auch eine sensorische Verwendung. Dazu wird im Rahmen dieser Arbeit dessen Eignung zur Positionsermittlung eines Biegeaktors zur Strahlablenkung untersucht.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-278743 KITopen-ID: 1000027874 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 28.06.2011 |
| Schlagwörter | Mikrostrukturtechnik, Ferromagnetische Formgedächtnislegierung, Aktor, Sensor |
| Relationen in KITopen | |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |