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DOI: 10.5445/KSP/1000027524
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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Stöffler, Dominik

Abstract:
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.


Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2012
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-843-8
ISSN: 2191-9925
URN: urn:nbn:de:0072-275246
KITopen ID: 1000027524
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang IV, 98 S.
Serie Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut ; 5
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Physik (PHYSIK)
Institut Physikalisches Institut (PHI)
Prüfungsdaten 09.02.2012
Referent/Betreuer Prof. H. von Löhneysen
Schlagworte Elektromigration, Rastersondenmikroskopie, Nanostrukturen, Maskenbedampfung, Elektronenstrahllithografie
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