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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Teutsch, Michael

Abstract:
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.

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DOI: 10.5445/KSP/1000034771
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seit 07.06.2013
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0026-1
ISSN: 2192-9963
urn:nbn:de:0072-347717
KITopen-ID: 1000034771
HGF-Programm 43.12.03 (POF II, LK 01)
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang XIII, 175 S.
Serie Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie ; 24
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten 26.03.2013
Schlagworte Nickel, Superlegierung, LIGA, Mikrosysteme
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